國內首臺12英寸晶圓探針臺在長春研制成功

　　央廣網長春7月5日消息（記者劉源源 通訊員胡曉瓊）中科院長春光機所旗下長春光華微電子設備工程中心有限公司（以下簡稱“光華微電子”）近日研制成功國內首臺商用12英寸全自動晶圓探針臺。它是半導體行業重要的檢測裝備之一，可將不符合要求的芯片參數特性記錄下來，提前剔除，大幅度降低制造成本。

　　目前國際上，探針臺技術門檻較高，市場由兩家日本公司壟斷態。東京電子和東京精密兩家公司占據了絕大部分市場份額。我國在探針臺研制方面已有多年技術積累，產品以8英寸為主。2015年，光華微電子立項開展12英寸全自動探針臺產品研發，先后突破了6項關鍵技術。今年，光華微電子推出的第一代產品機將在上海展出，并全面推向市場。